【真空等離子設備】在使用如塑料薄膜、橡膠和纖維織物等固體聚合物材料時，材料的性能不僅與其本體性質有關，而且材料的表面性能因素也占相當大的比重。例如涉及到粘接、吸附、摩擦、表面硬度等的場合。
因此為了更適應現(xiàn)代社會對材料多功能化的需求，常常對材料進行表面改性。本文介紹一種較新型的干式改性方法——等離子體表面改性。
等離子體是由某些氣體物質接收到很高的能量激發(fā)而成的，由電子、離子、原子、分子和自由基，以及光子共同組成的集合體，總體上呈現(xiàn)電中性。
【常壓等離子設備】等離子體是各種物質存在的一種狀態(tài)，是與固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)同一個層次的物質存在形式，有人稱等離子體是物質的第四態(tài)。其實太陽的周圍乃至宇宙中，多數(shù)物質都是以等離子體狀態(tài)存在的。
在生活中，我們也常見等離子體，最常見的就是火焰了，火焰可以看作是可燃物質釋放能量激發(fā)空氣和其他分解揮發(fā)氣體成為的等離子體狀態(tài)，是最“原始”的人造等離子體。
目前用人造等離子體方法中，較多的是射線輻照激發(fā)的方式，有射頻輝光放電（10~100MHZ，簡稱RF）和微波放電（超過1GHZ，簡稱MW）。在聚合物材料表面改性處理上，兩者均有使用，RF放電等離子體更為常用，但MW方式產(chǎn)生的低壓等離子體分布更均勻，對材料表面處理更均勻。【等離子噴槍】
