【真空等離子設(shè)備】等離子體是由帶正、負(fù)電荷的離子和電子，也可能還有一些中性的原子和分子所組成的集合體。在宏觀(guān)上一般呈電中性。
等離子體可以是固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)。電離氣體就是一種氣態(tài)等離子體。
等離子體中的基本過(guò)程是在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下,各種帶電粒子間相互作用,引起多種效應(yīng)。利用等離子體的特點(diǎn)可使它獲得多種應(yīng)用，現(xiàn)已構(gòu)成了電工發(fā)展的一個(gè)新領(lǐng)域。
等離子體的應(yīng)用取決于它的性質(zhì)和狀態(tài)。等離子體的性質(zhì)常取決于以下因素：
①等離子體的組分，如原子、分子、離子、電子、化學(xué)基團(tuán)等。
②粒子所處的狀態(tài)，如中性態(tài)、激發(fā)態(tài)、電離態(tài)、活化的分子及自由基。【等離子處理機(jī)】
③各種粒子數(shù)密度，即單位體積中的粒子數(shù)。
④各種粒子的溫度。如果電子和離子的溫度相等，稱(chēng)為平衡態(tài)等離子體；反之，是非平衡態(tài)等離子體。
⑤等離子體所處的環(huán)境，如電場(chǎng)強(qiáng)度、磁場(chǎng)強(qiáng)度、電極結(jié)構(gòu)、氣流、放電容器等。
⑥各種因素的作用時(shí)間。
人工等離子體的溫度大約為103 ～108 開(kāi)，電子數(shù)密度約為108 ～1021／厘米3 ，電流為毫安～兆安數(shù)量級(jí),氣體壓力為百帕～百千帕，放電頻率從直流到微波，這些參量決定了等離子體的不同應(yīng)用。主要有高溫等離子體應(yīng)用、熱等離子體應(yīng)用、冷等離子體應(yīng)用三大類(lèi)。【常壓等離子設(shè)備】
