【真空等離子設(shè)備】大多數(shù)有機(jī)物氣體在低溫等離子體作用下,聚合并沉積在固體表面形成連續(xù)、均勻、無針孔的超薄膜,可用作材料的防護(hù)層、絕緣層、氣體和液體分離膜以及激光光導(dǎo)向膜等,應(yīng)用于光學(xué)、電子學(xué)、醫(yī)學(xué)等許多領(lǐng)域。
以聚甲基丙烯酸甲酯或聚碳酸酯塑料均可制成價廉且易于加工的光學(xué)透鏡,但其表面硬度太低,易產(chǎn)生劃痕。采用有機(jī)氟或有機(jī)硅單體,采用低溫等離子體聚合技術(shù)在透鏡表面沉積出10nm的薄層,可改善其抗劃痕性和反射指數(shù)。
國外還有等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)應(yīng)用于塑料窗用玻璃、汽車百葉窗和氖燈、鹵天燈的反光鏡的報道。
【等離子Plasma】等離子體聚合膜具有多種性能,可使同樣的基材應(yīng)用于很多領(lǐng)域。在金屬和塑料上涂類金剛石碳耐磨涂料的化學(xué)氣相沉積技術(shù)是把含碳?xì)怏w導(dǎo)入等離子體中,該涂層耐化學(xué)藥品、無針孔、不滲透,能防止各種化學(xué)藥品侵蝕基材。同樣還可將減摩涂料涂于擋風(fēng)玻璃雨刮器上,或?qū)⒌湍ν繉油坑谟嬎銠C(jī)磁盤上以降低磁頭磁撞。
等離子聚乙烯膜沉積于硅橡膠表面后,硅橡膠對氧氣的透過系數(shù)明顯降低。由含氮單體制備反滲透膜,最高可阻出98%的食鹽、生物體內(nèi)的緩釋藥物一般采用高分子微囊,亦可采用等離子體聚合技術(shù)在微囊表面形成反滲透膜層。
