【等離子Plasma】氣體放電分為直流放電和交流放電。
直流放電通常指低頻放電，在氣壓和電流范圍不同時，由于氣體中電子數、碰撞頻率、粒子擴散和熱量傳遞速度不同，會出現暗電流區、輝光放電區和弧光放電區。電流的大小是根據電源負載特性曲線中兩條相應于電阻R1、R2的下降直線和放電特性曲線的交點(工作點A、B、C)確定的。
①暗電流區
電子在電場加速的情況下，獲得足夠能量，通過與中性分子碰撞，新產生的電子數迅速增加，電流增大到10-7～10-5安時，在陽極附近才出現很薄的發光層。
②輝光放電區【等離子表面刻蝕】
電流再增大（10-5～10-1安）時，在較低的氣壓條件下，陰極受到快速離子的轟擊而發射電子，這些電子在電場作用下向陽極方向加速運動。陰極附近有一個電位差很大的陰極位降區。電極之間的中間部分是電位梯度不很大的正柱區，其中的介質是非平衡等離子體。
正柱區的電子和離子以同一速度向壁面擴散，并在壁面復合，放出能量(這是沒有氣體對流時的情況)。經典理論中電子密度在橫截面上的分布是貝塞耳函數的形式。在陽極附近有一個幾毫米厚的陽極位降區，其中的電位差與氣體電離電位的數值大致相等。
③弧光放電區【常壓等離子設備】
當電流超過 10-1安且氣體壓力也較高時，正柱區產生的焦耳熱大于粒子擴散帶到壁面的熱量,使正柱區中心部分溫度升高,氣體電導率增加，以致電流向正柱區中心集中，形成不穩定的收縮現象。
最后，導電正柱縮成一根溫度很高、電流密度很大的電弧，這就是弧光放電。在陰極,電流密度達104～106安／厘米2，形成"陰極斑點"，根據熱電子發射（熱陰極）或場致發射（冷陰極）的機理，發出電子。
